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橢圓偏振光譜(SE)是一種成熟的光學(xué)技術(shù),用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料,薄膜,涂層,表面層和嵌入層。對(duì)于常規(guī)和晶圓廠加工質(zhì)量控制,必須有一個(gè)自動(dòng)盒式裝卸機(jī)。為此,我們開(kāi)發(fā)了一種低成本解決方案,可將晶圓尺寸從2“擴(kuò)展到8”(臺(tái)式),將塔式尺寸擴(kuò)展到12“。用戶甚至可以為每個(gè)插槽定義配方,從而為整個(gè)盒式磁帶測(cè)量定義配方。
橢圓偏振光譜儀SE-Solar專為光伏(PV)應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它可以配置為覆蓋DUV到NIR范圍,可以使用手動(dòng)測(cè)角儀以5度間隔改變?nèi)肷浣?,也可以配置為自?dòng)測(cè)角儀,分辨率為0.001度?;陉嚵械臋z測(cè)設(shè)置可為用戶提供快速測(cè)量,每個(gè)數(shù)據(jù)只需幾秒鐘。當(dāng)需要映射或?qū)崟r(shí)原位測(cè)量時(shí),這是所有SE模型中的*選擇。
對(duì)于某些應(yīng)用(例如MEMS或半導(dǎo)體產(chǎn)品晶圓上的功能),希望有一個(gè)小的探測(cè)點(diǎn)。將顯微分光光度計(jì)與橢圓偏振光度計(jì)集成在一起后,工具的功能將大大擴(kuò)展??赏ㄟ^(guò)橢圓偏振光度法在超薄膜上工作,并且還具有通過(guò)微反射法與橢圓度計(jì)和微分光光度計(jì)相結(jié)合的*配置的小面積微反射法。
紅外光譜橢圓儀(IRSE)可以表征材料的結(jié)構(gòu)(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光學(xué)(光學(xué)常數(shù)),電(導(dǎo)電性)以及化學(xué)信息。
光譜橢偏儀可配置從DUV到NIR的波長(zhǎng)范圍。DUV范圍可用于測(cè)量超薄膜,如納米厚度范圍。比如硅晶片上的原生氧化物,其通常僅為約1至2nm厚。當(dāng)用戶需要測(cè)量許多材料的帶隙時(shí),深紫外光譜橢偏儀也是*的。可見(jiàn)或近紅外范圍用于測(cè)量相對(duì)厚或非常厚的涂層。
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