MicroXact高速半自動化探針臺

簡要描述：隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用MicroXact的半自動探針臺進行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進行進一步的和廣泛的故障分析。
系統(tǒng)構(gòu)建在一個重型，通用的平臺上，能夠配置為處理各種探測應(yīng)用。

產(chǎn)品型號：SPS-HS系列
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-05-17
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電動XY夾頭，SPS-2600中的電動壓板，SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動，標準配置。Motorized theta是一種選擇。

基于伺服電機的直線光柵尺。

成本競爭力，非?？焖?，高效的解決方案

強烈推薦用于中等規(guī)模生產(chǎn)或其他吞吐量很重要的應(yīng)用

型號	SPS-12000-HS	SPS-2800-HS	SPS-2600-HS
晶圓尺寸	高達300mm	高達200mm	高達100mm
電機類型	伺服電機
顯微鏡	高品質(zhì)立體聲變焦，工作距離可達200??mm，放大倍率范圍為3.5X至180X
饋通終端	BNC，Triax或香蕉插頭
系統(tǒng)尺寸	101CM寬x91CM深x 88CM高	122CM寬x122CM深x 92CM高	78CM寬x80CM深x 58CM高

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