當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 光刻膠 > Futurrex光刻膠 > PR1系列Futurrex紫外正性光刻膠
簡(jiǎn)要描述:Futurrex 成立于1985年,是美國光刻膠及輔助化學(xué)品制造商。產(chǎn)品以技術(shù)著稱,從2000年至今年均增長(zhǎng)率為33%。主要客戶有:Ti、半導(dǎo)體、HP、SHARP、3M、Universal Display、ETC、LG、Qualcomm (高通)等。Futurrex長(zhǎng)期與Intel實(shí)驗(yàn)室合作,產(chǎn)品被廣泛收錄進(jìn)美國各大學(xué)半導(dǎo)體教程,是各大研究機(jī)構(gòu)產(chǎn)品。
產(chǎn)品分類
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Futurrex產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
1、Futurrex光刻膠黏附性好,無需使用增粘劑(HMDS)
2、負(fù)性光刻膠常溫下可保存3年
3、150度烘烤,縮短了烘烤時(shí)間
4、單次旋涂能夠達(dá)到100um膜厚
5、顯影速率快,100微米的膜厚,僅需6~8分鐘
正性光刻膠
A、 粘度增強(qiáng)正膠(PR1系列)
應(yīng)用:蝕刻、反應(yīng)離子刻蝕、離子注入、電鍍;
特征:PR1系列正膠耐熱溫度=110℃;
品牌 | 產(chǎn)地 | 型號(hào) | 厚度 | 耐熱溫度 | 應(yīng)用 |
Futurrex | 美國 | PR1-500A | 0.4μm~0.9μm | 耐熱溫度=110 ℃ | 濕刻、反應(yīng)離子束刻蝕、離子植入、電鍍 |
PR1-1000A | 0.7μm~2.0μm | ||||
PR1-1500A | 1.3μm~3.0μm | ||||
PR1-2000A | 1.7μm~4.0μm | ||||
PR1-4000A | 3.7μm~10.0μm | ||||
PR1-12000A | 10.0μm~25.0μm | ||||
Micro Resist | 德國 | ma-P 1200系列 | 0.5~50μm膠厚 | 非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能; 光刻膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;堿性水溶液下顯影; |
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