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簡要描述:Tousimis成立于1962年,擁有50余年的美國臨界點干燥儀(Critical Point Dryers, CPD)設(shè)備制造經(jīng)驗。Tousimis自成立之初就一直致力于技術(shù)革新,著臨界點干燥設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。Tousimis可提供直徑從1.25英寸到8英寸的晶片臨界點干燥儀,其因技術(shù)*、操作簡便、可靠性高而*,已在材料、化工、生物、制藥、MEMS器件、MOF、生物傳感器等領(lǐng)域
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美國臨界點干燥儀Automegasamdri®-915B,系列B
特點:
6”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀;
潔凈室和防靜電兼容設(shè)計;
通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結(jié)果的可重復(fù)性;
所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性;
每個操作模式LED顯示,一目了然;
集成自動控溫;
內(nèi)置圓盤裂片保證安全;
可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
靜態(tài)壓力控制模塊,自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
內(nèi)腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài);
擁有高效隔熱的冷卻系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C;
標配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間;
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
美國臨界點干燥儀規(guī)格:
外部尺寸:寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長25.0” (63.5cm);
占地尺寸:寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm);
樣品室尺寸:內(nèi)徑6.50” × 深1.25”,樣品室容積:679 ml;
溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制;
120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標準配件:
高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長;
外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;
SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;
防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護線路、晶片和閥門
樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,5A保險絲2個;
4個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6”、4、3、2和1.25英寸;
直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
流量計,可準確控制BLEED的排氣速率;
用戶手冊;
所有部件一年質(zhì)保。
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