當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 光刻膠 > SU-8膠 > GM1010/GM1020/GM1075EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑
簡要描述:EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。典型的SU-8過程包括以下步驟:基板準(zhǔn)備 旋涂 松弛時(shí)間以提高表面均勻度 軟烤 曝光后烘烤 發(fā)展歷程 沖洗并干燥 可選硬烤
產(chǎn)品分類
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EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。
產(chǎn)品 膜厚范圍 涂層選項(xiàng)
GM1010 <0.2微米 噴涂外套
GM1020 0.2-0.5微米 旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨
GM1030 0.5-1.2微米 旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨
GM1040 0.9-3.2微米 旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨
GM1050 3-8微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
GM1060 2-27微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
GM1070 15-200微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
GM1075 100-400微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
小訂購量為250mL
SML Resist是一種高分辨率,高縱橫比的正色調(diào)電子束抗蝕劑。EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑具有出色的附著力和出色的抗干蝕刻性。SML可用于MEMS,波帶片,光子學(xué)和許多其他納米加工應(yīng)用
SML電子束抗蝕劑的厚度范圍從50nm到2μm,起始體積僅為50mL。
高性能SML電子束抗蝕劑是一種新型聚合物,專為滿足EBL社區(qū)的需求而設(shè)計(jì)。即使在低加速電壓下,也無需借助鄰近效應(yīng)校正,就可以同時(shí)將其圖案化為高分辨率和高長寬比的圖案。
SML抗蝕劑經(jīng)過專門設(shè)計(jì),可與標(biāo)準(zhǔn)PMMA工藝配合使用。無需更改化學(xué)或過程培訓(xùn)。
產(chǎn)品范圍–厚度
SML50:40nm – 100nm
SML100:90nm – 210nm
SML300:250nm – 600nm
技術(shù)指標(biāo)
高分辨率:<10nm
*的寬高比:
30 kV時(shí)> 10:1
> 50:1 @ 100 kV
厚度:50 nm – 2000 nm
PMMA抗蝕劑是用于電子束光刻的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)正性抗蝕劑。我們提供各種分子量和厚度的PMMA。
PMMA Resist是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的電子束抗蝕劑,廣泛用于學(xué)術(shù)界和工業(yè),用于高分辨率功能和剝離應(yīng)用。它也可以用于納米壓印應(yīng)用以及其他晶圓廠和研發(fā)過程,例如石墨烯薄片轉(zhuǎn)移。
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