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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  光刻膠  >  SU-8膠  >  GM1010/GM1020/GM1075EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑

EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑

簡要描述:EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。
典型的SU-8過程包括以下步驟:
基板準(zhǔn)備 旋涂 松弛時(shí)間以提高表面均勻度 軟烤 曝光后烘烤 發(fā)展歷程 沖洗并干燥 可選硬烤

  • 產(chǎn)品型號:GM1010/GM1020/GM1075
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-17
  • 訪  問  量:2232

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詳細(xì)介紹

EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。

產(chǎn)品                  膜厚范圍            涂層選項(xiàng)

GM1010           <0.2微米           噴涂外套

GM1020           0.2-0.5微米      旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨

GM1030           0.5-1.2微米      旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨

GM1040           0.9-3.2微米      旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨

GM1050            3-8微米              旋轉(zhuǎn),噴墨

GM1060            2-27微米            旋轉(zhuǎn),噴墨

GM1070           15-200微米         旋轉(zhuǎn),噴墨

GM1075           100-400微米       旋轉(zhuǎn),噴墨

小訂購量為250mL

 

SML Resist是一種高分辨率,高縱橫比的正色調(diào)電子束抗蝕劑。EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑具有出色的附著力和出色的抗干蝕刻性。SML可用于MEMS,波帶片,光子學(xué)和許多其他納米加工應(yīng)用

SML電子束抗蝕劑的厚度范圍從50nm2μm,起始體積僅為50mL。

高性能SML電子束抗蝕劑是一種新型聚合物,專為滿足EBL社區(qū)的需求而設(shè)計(jì)。即使在低加速電壓下,也無需借助鄰近效應(yīng)校正,就可以同時(shí)將其圖案化為高分辨率和高長寬比的圖案。

SML抗蝕劑經(jīng)過專門設(shè)計(jì),可與標(biāo)準(zhǔn)PMMA工藝配合使用。無需更改化學(xué)或過程培訓(xùn)。

產(chǎn)品范圍–厚度

SML5040nm 100nm

SML10090nm 210nm

SML300250nm 600nm

 

技術(shù)指標(biāo)

高分辨率:<10nm

*的寬高比:

30 kV時(shí)> 101

> 501 @ 100 kV

厚度:50 nm 2000 nm

 

PMMA抗蝕劑是用于電子束光刻的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)正性抗蝕劑。我們提供各種分子量和厚度的PMMA。

PMMA Resist是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的電子束抗蝕劑,廣泛用于學(xué)術(shù)界和工業(yè),用于高分辨率功能和剝離應(yīng)用。它也可以用于納米壓印應(yīng)用以及其他晶圓廠和研發(fā)過程,例如石墨烯薄片轉(zhuǎn)移。

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