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當前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  濕法刻蝕顯影清洗系統(tǒng)  >  顯影機  >  UNIXX S 20 D顯影機

顯影機

簡要描述:UNIXX S 20 D 顯影機是應用于顯影工藝的設備,適用的基板尺寸最大到8英寸的圓片
和最大到6英寸x6英寸的方片。新設計的三片式可拆卸工藝腔體可實現(xiàn)良好的工藝均勻
性和重復性,設備也可用于清洗和旋干工藝。
UNIXX S 20 D的落地式柜體經(jīng)專門設計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適
用于實驗室開展科學研究和技術開發(fā)。設備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且
可以升級成自動化的系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:UNIXX S 20 D
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-05-17
  • 訪  問  量:1789

詳細介紹

特點 

可處理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm) 方片或 ? 8" (? 200mm)圓片 

采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

真空安全聯(lián)鎖功能 

觸摸屏輸入

顯示 啟動、停止及真空操作按鈕 

可編程速度和加速度 

馬達轉速最大可達10000/

易拆卸雙片腔體本體和防濺環(huán) 

網(wǎng)絡接口 

USB接口 

選項 

? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程 

? 液體噴嘴 噴霧型,射流型 

? 熱流體線,最高80°C

? 真空或微接觸夾具 不同尺寸

? 可拆卸工藝腔體及防濺環(huán)

? 熱板

? 熱板接近式烘烤, 手動可調接近距離 

? 可編程接近距離熱板

? 真空泵 

? 附加HMDS熱板 

性能參數(shù) 

觸摸屏程序輸入

? 程序數(shù): 100 

? 程序步數(shù): 50 

? 最長單步時間: 999

? 單步時間分辨率: 0.1

旋轉馬達

? 旋轉速度: 最高 10.000 /分鐘

? 轉速分辨率: 1/分鐘 

? 旋轉精度: ± 2 /分鐘

? 加速度: 最高 50,000 /分鐘/* *和基片重量有關

熱板 

?溫度范圍: 最高 300°C

?溫度分辨率: 0.1°C

? 溫度均勻性( 100°C ) : < ± 0.5°C 

動力需求

?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm 

設備外形(x x )

?落地式柜體: 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52") 

?帶水平調節(jié) 

?不銹鋼框架

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