當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > > 勻膠機/勻膠旋涂儀 > UNIXX-SERIES德國osiris勻膠機:SPIN COATING
簡要描述:德國osiris勻膠機:SPIN COATING,應(yīng)用于勻膠工藝的設(shè)備,具有CCP(夾具密封工藝)的勻膠技術(shù)和可選的烘烤熱板,適用于實驗室開展科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)和企業(yè)小批量多品種生產(chǎn)。設(shè)備具有多選項(例如可編程滴膠臂)并且可以升級成自動化的系統(tǒng)達(dá)到更高的片到片工藝重復(fù)性。
詳細(xì)介紹
Osiris勻膠機
用于處理單晶圓的系統(tǒng),具有用于半導(dǎo)體和微系統(tǒng)技術(shù)的定制基板加工選項。
旋涂機 - CCP
設(shè)計用于以下應(yīng)用:
帶蓋卡盤處理器 (CCP) 的旋轉(zhuǎn)涂層
1.UNIXX S760+
(21x21 英寸)獨立系統(tǒng)
用于大型基材的旋涂機。
2.UNIXX SA30+
(?300毫米)獨立系統(tǒng)
帶蓋卡盤旋涂機。(單底座)
3. UNIXX SHp22+
(直徑200mm)獨立系統(tǒng)
有蓋卡盤旋涂機和加熱板模塊。
旋涂機 - 開式轉(zhuǎn)鼓
設(shè)計用于以下應(yīng)用:
帶開口碗的旋轉(zhuǎn)涂層,用于標(biāo)準(zhǔn)涂層。
1.UNIXX SA30
(?300毫米)獨立系統(tǒng)
開式轉(zhuǎn)鼓旋涂布機。(單底座)
2. UNIXX SHe22
(直徑200mm)獨立系統(tǒng)
開碗旋涂機和加熱板模塊。
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