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德國osiris勻膠機:SPIN COATING

簡要描述:德國osiris勻膠機:SPIN COATING,應(yīng)用于勻膠工藝的設(shè)備,具有CCP(夾具密封工藝)的勻膠技術(shù)和可選的烘烤熱板,適用于實驗室開展科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)和企業(yè)小批量多品種生產(chǎn)。設(shè)備具有多選項(例如可編程滴膠臂)并且可以升級成自動化的系統(tǒng)達(dá)到更高的片到片工藝重復(fù)性。

  • 產(chǎn)品型號:UNIXX-SERIES
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-05-17
  • 訪  問  量:760

詳細(xì)介紹

Osiris勻膠機

用于處理單晶圓的系統(tǒng),具有用于半導(dǎo)體和微系統(tǒng)技術(shù)的定制基板加工選項。


旋涂機 - CCP

設(shè)計用于以下應(yīng)用:

帶蓋卡盤處理器 (CCP) 的旋轉(zhuǎn)涂層


1.UNIXX S760+

(21x21 英寸)獨立系統(tǒng)

用于大型基材的旋涂機。


2.UNIXX SA30+

(?300毫米)獨立系統(tǒng)

帶蓋卡盤旋涂機。(單底座)


3. UNIXX SHp22+

(直徑200mm)獨立系統(tǒng)

有蓋卡盤旋涂機和加熱板模塊。


旋涂機 - 開式轉(zhuǎn)鼓

設(shè)計用于以下應(yīng)用:

帶開口碗的旋轉(zhuǎn)涂層,用于標(biāo)準(zhǔn)涂層。


1.UNIXX SA30

(?300毫米)獨立系統(tǒng)

開式轉(zhuǎn)鼓旋涂布機。(單底座)


2. UNIXX SHe22

(直徑200mm)獨立系統(tǒng)

開碗旋涂機和加熱板模塊。






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