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簡要描述:SM280自動顯微薄膜厚度測繪儀采用顯微系統(tǒng),可以進(jìn)一步縮小光斑大小,從而實(shí)現(xiàn)非常優(yōu)秀的空間分辨率。同時,SM280采用一體化設(shè)計,核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀和高精度的3軸移動平臺。
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SM280 自動顯微薄膜厚度測繪儀
SM280是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的顯微薄膜厚度測繪儀。
SM280自動顯微薄膜厚度測繪儀采用顯微系統(tǒng),可以進(jìn)一步縮小光斑大小,從而實(shí)現(xiàn)非常優(yōu)秀的空間分辨率。同時,SM280采用一體化設(shè)計,核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀和高精度的3軸移動平臺。
1.產(chǎn)品特點(diǎn):
·非接觸式、非破壞性的測試系統(tǒng);
·精細(xì)光斑,更佳空間分辨率;
·超長壽命光源,更高的發(fā)光效率;
·高分辨率、高靈敏度光譜儀,測繪結(jié)果更準(zhǔn)確可靠;
·軟件界面直觀,操作方便省時;
·集成實(shí)時攝像頭,監(jiān)控測量點(diǎn);
·配備顯微物鏡,支持檢測小尺寸樣品;
·測繪速度快,支持多點(diǎn)測繪點(diǎn)位地圖繪制;
·支持繪制樣品 2D/3D 厚度分布圖;
·高精度、長壽命的 3軸移動平臺;
·歷史數(shù)據(jù)存儲,幫助用戶更好掌握結(jié)果;
·桌面式分布設(shè)計,適用場景豐富;
2.應(yīng)用領(lǐng)域:
·半導(dǎo)體鍍膜 ·光學(xué)鍍膜 ·液晶顯示
·微電子系統(tǒng) ·生物醫(yī)學(xué)
3. 選型與規(guī)格參數(shù):
光學(xué)膜厚儀通過測量薄膜的光學(xué)性質(zhì)來確定膜的厚度。其原理基于薄膜在不同波長的光線下會發(fā)生干涉現(xiàn)象。當(dāng)光線穿過薄膜時,會發(fā)生反射和透射,反射和透射的光線會發(fā)生干涉,形成明暗條紋。通過測量這些干涉條紋的特征,可以計算出薄膜的厚度。
光學(xué)膜厚儀通常使用白光或單色光源照射在薄膜上,然后測量反射光的強(qiáng)度或干涉條紋的間距,從而推斷出薄膜的厚度。這種方法適用于各種類型的薄膜,如光學(xué)鍍膜、涂層、光學(xué)薄膜等。通過光學(xué)膜厚儀可以非常精確地測量薄膜的厚度,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料等領(lǐng)域。
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