TC-Wafer校準儀,是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器。
適配市場上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設(shè)備。
特殊情況可定制以適配。
產(chǎn)品特點(部分)
1.測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms,能準確測量晶圓溫廠均勻性;
2.使用便捷 儀器集成度高,即插即用。測試記錄完整數(shù) 據(jù),并能自動生成測試報告,
支持U盤、藍牙、無線網(wǎng) 絡(luò)等多種方式導出數(shù)據(jù)和報告;
3.顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制),顯示實時點位圖及溫度分布圖,
可在使用過程中實時觀察各點溫度變化;
4.功能強大 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲量,能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。
可做同一臺設(shè)備不同時間段、以及不同設(shè)備同一配方的數(shù)據(jù)對比;
5.便攜易維護 便攜一體化設(shè)計,配備磁吸支架可貼靠于RTP表面, Type-C接口
65W速充,可迅速更換TC- wafer。
TC-Wafer校準儀應(yīng)用功能:
1.半導體制造工藝調(diào)校
2.RTP設(shè)備的測試、驗證
3.TC-Wafer的測試、驗證
4.相 關(guān) 晶 圓 熱 處 理 設(shè) 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
5.使用范圍:室溫~ 1200℃(更高溫可定制)