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紫外掩膜曝光系統(tǒng)
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UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統(tǒng)的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統(tǒng)，兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準直光束，因此可實現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。
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