18971121198
當前位置:首頁 > 產品中心 > 紫外掩膜曝光系統(tǒng) > UV-KUB 3
產品分類
紫外掩膜曝光系統(tǒng)
相關文章
UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統(tǒng)的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統(tǒng),兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準直光束,因此可實現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。
歡迎您關注我們的微信公眾號了解更多信息
在線咨詢
電話
微信掃一掃
返回頂部